(1) Trattament ta 'qabel il-PVD, inkluż tindif ta' oġġetti u trattament minn qabel.Metodi ta 'tindif speċifiċi jinkludu tindif tad-deterġent, tindif tas-solvent kimiku, tindif ultrasoniku, u tindif bil-bumbardament tal-joni.
(2) Poġġihom fil-forn, inkluż it-tindif u l-attrezzaturi tal-kamra tal-vakwu, u l-installazzjoni, il-kummissjonar u l-konnessjoni ta 'oġġetti u attrezzaturi.
(3) Vacuuming, ġeneralment ippumpjar għal 6.6Pa jew aktar, tiftaħ il-faċċata tal-pompa tad-diffużjoni qabel biex iżżomm il-pompa tal-vakwu u saħħan il-pompa tad-diffużjoni.Wara li t-tisħin minn qabel ikun biżżejjed, il-valv għoli jinfetaħ u jiġi ppumpjat għal vakwu ta 'nofs qiegħ ta' 6 x 10-3 Pa b'pompa ta 'diffużjoni.
(4) Ħami, ħami l-oġġetti għat-temperatura mixtieqa.
(5) Bumbardament tal-jone, il-vakwu huwa ġeneralment 10 Pa sa 10-1 Pa, il-vultaġġ tal-bumbardament tal-joni huwa vultaġġ għoli negattiv ta '200 V sa 1 KV, u l-ħin tal-attakk huwa 15 min sa 30 min.
(6) Tidwib minn qabel, aġġustament tal-kurrent biex jiddewweb minn qabel il-materjal, aġġustament tal-kurrent biex jiddewweb minn qabel il-kisi u degassing għal 1min ~ 2min.Depożitu li jevapora.Il-kurrent ta 'evaporazzjoni huwa aġġustat kif meħtieġ sakemm jintemm il-ħin ta' depożizzjoni mixtieq.Tkessiħ, l-oġġetti huma mkessħa għal ċertu temperatura fil-kamra tal-vakwu.
(7) Wara li l-oġġetti jinħarġu, il-kamra tal-vakwu tingħalaq, il-vakwu jiġi evakwat għal l × l0-1Pa, u l-pompa tad-diffużjoni titkessaħ għat-temperatura permissibbli qabel ma l-pompa tal-manutenzjoni u l-ilma tat-tkessiħ jistgħu jintfew.